6月12日，在安徽北方微電子研究院集團有限公司，技術人員在生產MEMS晶圓。記者 徐旻昊 攝
晶圓檢測現場。記者 徐旻昊 攝
晶圓自動化生產現場。記者 徐旻昊 攝
在安徽北方微電子研究院集團有限公司，工作人員正在生產晶圓。記者 徐旻昊 攝
傳感器相當于人類五官的延伸，讓萬物有了“眼睛”“耳朵”“鼻子”，變得更加智能。小到通信家電，大到航空航天，傳感器的應用無處不在。
近年來，安徽省搶抓人工智能發展機遇，著力構建“一核兩地多點”的產業布局，力爭建設成為具有全國乃至全球影響力的人工智能科技創新策源地和新興產業聚集地。
蚌埠市作為省內唯一的集成電路和MEMS晶圓生產線所在地，正全力推進中國傳感谷建設，構建自主可控的芯體和傳感器技術體系，已成為我省人工智能產業布局的重要一環。
四十余年沉淀“獨門絕技”
一片指甲蓋大小的傳感器，通過把磁場、電流、溫度等影響因素轉換為電信號，從而助力設備的驅動，在新能源發電、新能源汽車等領域隨處可見它的身影。
走進蚌埠市龍子湖畔邊的安徽北方微電子研究院集團有限公司（以下簡稱北方微電子研究院），展廳內部陳列著一張張晶圓片，每個晶圓上都有非常精巧的內部結構。
“公司打造了多個自主的MEMS（微機電系統）工藝平臺，以微納制造工藝為核心，把傳感器技術和微機電系統技術集成在一起，就能研制出MEMS傳感器。”安徽北方微電子研究院集團有限公司黨委書記、董事長陳丙根在集成電路領域深耕多年，“MEMS傳感器的芯片制造工藝是個手藝活兒，可以說是公司的‘獨門絕技’，而這也是智能傳感器的底座。”
“做芯片難的不是設計，而是將設計圖紙變為現實。”陳丙根介紹，傳統半導體工藝是平面工藝，而MEMS芯片工藝是立體工藝，有多層結構，要一層層堆疊，精度要求高且結構復雜，同時還要有可靠性和一致性，便于生產制造。
安徽北方微電子研究院集團有限公司成立于2022年，以中國兵器工業第二一四研究所（以下簡稱“214所”）為主體單位，由華鑫智感等9家參控股公司組成。
成立雖晚，起步卻早。早在1979年，214所就開始探索微電子技術研制領域。如今的北方微電子研究院已匯集40余年的技術積淀，建設有國內先進的6英寸MEMS體硅工藝中試研發平臺，擁有國內領先、國際先進的完全自主知識產權的4套完整的MEMS工藝體系。
好“手藝”，帶來好產品。“最近公司發布了2款導航級高精度MEMS慣性傳感器、6個系列的MEMS壓力傳感器等，產品還在不斷升級迭代。”陳丙根告訴記者，研制的產品還為“神舟”“嫦娥”等多項國家航天重點工程的“問天之旅”提供有力保障。
有了硬核工藝，也就有了發展的底氣。依托214所多年從事微電子技術研制的技術、人才等積淀，2021年，在省級支持下，蚌埠啟動建設中國傳感谷，與位于合肥的“中國聲谷”、蕪湖的“中國視谷”并稱安徽人工智能產業“三谷”。
星火燃起燎原之勢
按照“一谷三園”產業集群總體布局，中國傳感谷設立“一谷”即中國（蚌埠）傳感谷，“三園”即傳感谷MEMS核心器件產業園、傳感谷科技孵化園、傳感谷中央創新園，致力打造自主可控芯體最多、傳感器種類最全、產值超千億的產業集群。
安徽希磁科技股份有限公司（以下簡稱希磁科技）是谷內其中一家企業，專注磁性傳感器及磁性傳感器芯片設計、研發、生產以及銷售。
6月11日，記者來到希磁科技生產車間內，透過窗戶看到三條貼片機產線正高速運轉。
“基于TMR（隧道磁阻）技術，公司進行磁性傳感器的研發和生產，已研制出電流傳感器、角度傳感器、位移傳感器等產品。”安徽希磁科技股份有限公司總經理辦公室主任趙乾陽介紹，憑借對磁傳感技術的掌握及創新，公司正為新能源汽車、智能電網等行業提供解決方案。
傳感器在生活中是如何應用的？趙乾陽舉了個例子，新能源汽車的行駛離不開電流傳感器，它可以檢測汽車充放電的電流，利用電磁感應原理的開環電流傳感器對充放電電流進行過流保護，提高汽車電池的使用效率。還能實時采集動力電池組中每塊電池的電壓和溫度，充放電電流及電池包總電壓，防止電池發生過充或過放現象。
“在蚌埠，能切切實實體會到當地對企業創新、企業發展的重視，不管是廠房還是其他發展需求，園區服務的響應速度非常快，讓企業發展無后顧之憂。”趙乾陽感慨。
除了希磁科技，芯動聯科、有家硅光、依愛消防、雙環電子等一批行業領軍企業紛紛落子蚌埠。目前，中國傳感谷已初步形成設計、制造、封裝、篩選、測試及模塊與系統集成應用等全產業鏈發展的生態體系。集聚智能傳感產業相關企業200余家，其中高新技術企業50家，省級以上專精特新企業17家，覆蓋產業上下游各個環節。
傳感世界支撐智能未來
隨著人工智能、物聯網等技術的迅猛發展，新一輪技術革命即將到來，智能傳感及相關產業將迎來巨大的發展機遇。作為中國三大傳感器研發制造基地之一，蚌埠正依托現有基礎，聚力打造千億級智能傳感全產業鏈集群，形成國內一流、世界知名的智能傳感器集聚區。
發展并不是一蹴而就的，當下傳感谷的發展仍面臨產業規模偏小、優勢發揮不充分、融資能力不強、資金投入不足、人才引育不易的發展問題。
政策猶如及時雨，為產業發展“輸氣補血”。近日，安徽出臺《關于支持中國傳感谷發展若干政策》（以下簡稱《若干政策》），內容涉及加大投入、創新發展、人才引育等五個方面，用真金白銀支持中國傳感谷發展。
突出“四鏈”融合。《若干政策》涉及資金投入、創新發展、人才引育、上市融資和海外發展五個方面，緊扣產業鏈部署創新鏈、人才鏈和資金鏈，全方位加快產業生態構建。突出產業需求。傳感器產業是技術密集型產業，對人才和技術的需求較其他產業更加迫切，為此政策著重設計安排人才引育、技術攻關等支持，相關舉措占整個政策近一半，把握了產業發展的重點方向和薄弱環節。
突出省市聯動。《若干政策》既涵蓋省級層面存量政策引導，也有市級層面政策綜合支持，有利于發揮政策疊加效應，通過省市政策協同推動中國傳感谷建設加快落地見效。
省科技廳人工智能專班工作組副組長吳銳表示，《若干政策》將推動以蚌埠中國傳感谷為核心集聚區的智能傳感器產業發展，加快中國傳感谷建設，加速MEMS智能傳感器重點領域和產業鏈關鍵環節的科技攻關，吸引更多上下游企業入駐傳感谷，深入推進創新鏈、產業鏈、資金鏈、人才鏈深度融合。
